フラットパネル ・半導体産業 ・医療機材・設備 ・フラットパネルガラス基板搬送システム ・環境検査・試験
単軸ロボット
KSシリーズ
高防塵型
クリーンルーム設備向けの防塵設計(吸気ポート装備) 。モータとボールねじを連動させて動かす仕組み 。防塵設計なので、半導体製造装置、発光ダイオード(LED)検査装置、医療機材などの機械製品にお使いいただけます。 ・クリーンルーム用・ステンレスカバー ・ACサーボモータ内蔵(オプション)・繰り返し位置決め精度± 0.02mm ・すぐれた防塵性 ・多種ストローク対応